PMA/PGMEA溶剂99.5%:高级工业和电子级
PMA/PGMEA溶剂99.5%优质工业和电子级为乙酸1-甲氧基-2-丙酯,CAS108-65-6,线性式CH3COOCH(CH3)CH2OCH3,摩尔质量132.16g/mol。气相色谱法结合火焰离子化检测,可量化不低于99.5重量%的主要成分。溶剂是一种中等挥发性的含氧酯,根据ASTM D1078测定,在101.3 kPa下的沸点范围为142-147°C,根据ASTM D4052测定,在20°C下的密度为0.966 g/cm³,根据ASTM D93测定,在25°C下动态粘度为1.10 mPa·s,闭杯闪点为42°C。汉森溶解度参数为15.6 MPa0.5分散度,5.6 MPa0.5极性,7.2 MPa0.05氢键。该等级用于光致抗蚀剂减薄、电子边缘珠去除、精密清洁、涂层和印刷油墨,其中可控的挥发性和低残留金属会影响薄膜形成、附着力或器件良率。下表列出了当前分析证书中的代表性规格和金属离子值;这些是供应商的规格,而不是法定的质量限制。p